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真空炉检漏

产品介绍


 晶体生长在高真空的环境下进行材料催化,晶体生长,所使用真空炉需要达到E-3pa的真空度。之前设备真空度抽不上去时,是有经验的师傅在可能的泄漏点抹丙酮,观察电阻的变化来预估漏孔。这种方法有检测花费时间长,精度低,较依赖师傅的经验,无法全面检测等缺点。

深圳不漏科技的氦质谱检漏仪,采用负压法检漏。将检漏仪与真空炉体通过波纹管连接。用氦气袋向真空炉体表面喷氦。因为炉体内外存在压差,氦气会通过漏孔进入真空炉体内部,最终被氦检仪捕捉到,如果氦检仪报警,说明此处有泄漏。这种方法具有检测精度高,灵敏度高,花费时间短等优点。

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