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真空检漏之氦质谱检漏仪

2019-10-10

氦质谱检漏仪的基本原理是采集被检件中的气体将其电离,根据不同种类气体离子质荷比不同的特点,利用磁偏转分离原理将其区分开。仪器只对示漏气体氦气有相应信号,而对其他气体没有反应,属于唯一性检漏仪器。检漏过程中,一旦出现信号,就说明有氦气通过漏孔进入被检件,从而指示漏率大小。之所以选择氦气作为示漏气体,主要是因为氦质量轻,易于穿过漏孔,扩散快,对分析设备制造的要求相对简单;同时氦气在空气中含量少,本底信号小,又为惰性气体,不易发生反应等,都为提高仪器灵敏度创造了条件。

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氦质谱检漏仪作为一种磁偏转型质谱分析仪器,结构上分单级磁偏转型和双级串联偏转性,具体的结构原理。而在结构组成上,大部分氦质谱检漏仪就是由质谱室、真空系统以及电气系统3部分组成的:质谱室是这种真空检漏仪器的心脏,又包括离子源、分析器、收集器、前级放大器、冷阴极电离真空计等组成部分;真空系统用于为质谱室提供真空工作条件,保证氦离子的传输率;电气系统的核心功能就是为质谱室供电与测量。另外在有些条件下,氦质谱检漏可能还会需要辅助真空系统,完成一些预抽、保证检漏仪真空度等工作。

氦质谱检漏仪有漏率灵敏度参数,它是仪器在出厂时经过校准的在最佳条件下所能实现的仪器灵敏度,称之为检漏灵敏度。然后在具体检漏过程中,氦质谱检漏仪的检漏方法也较多,有正压法、负压法、氦罩法、真空箱法、背压法等众多形式,可结合实际情况灵活运用。

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