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真空系统检漏常用的检漏方法

2019-10-10

真空系统的泄漏难以避免。因此为保证系统稳定,保证真空系统的泄漏要在一定的允许范围内,就要对其进行气密性检漏。下面介绍真空检漏的2大检漏方法。

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第一,正压法

正压法检漏是指将被检漏的真空系统充入具有一定压力的氦气,一旦被检空间存在漏隙,氦气就会从漏隙中漏出,通过仪器检测发现从漏隙中漏出的氦气,从而发现漏隙所在位置及泄漏量。

第二,负压法

负压法检漏与正压法检漏相反,是将被检的真空系统与检漏仪连接在一起,检漏仪对真空系统进行抽真空,然后将氦气喷吹在被检系统外部可疑部位。如果被检的真空系统存在漏隙,氦气会通过漏隙进入到真空系统中,并被氦质谱检漏仪检测到、判断出漏隙所在位置及泄漏量。

这两种检漏方法都是大的类型方式,每一种检漏方式又可分为若干小类的检漏方法,对应不同的检漏需求。

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