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氦质谱检漏仪逆扩散原理

2019-08-16
氦质谱检漏仪逆扩散原理

逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高,氦质谱检漏仪可达300Pa(一般常规检漏仪为0.05Pa以下),适合检大型容器或有大漏的器件,也适合吸枪检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染,灯丝寿命长等优点。

1、吸枪法

被检件充入高于大气压的探索气氦,检漏仪的检漏口连接称之为吸枪的气体采集器。当试件有漏时,泄漏的氦气被吸枪吸入检漏仪,而被检测。吸枪在试件表面移动,同时注视氦质谱检漏仪漏率指示的变化,一旦泄漏增加,吸枪所指位置即漏点所在。因此吸枪法也是能确定漏孔的检漏方法。

2、钟罩法——测总漏率

将被检件与仪器检漏口联接抽真空,在被检件外面罩以充满氦气的容器,如被检件有漏孔,氦气便由漏孔进入被检件,最终达到质谱管被检测。所测漏率是被检件的总漏率,不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。

3、背压法——测总漏率

电子元器件进行气密性检测时常用背压法。检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量),然后取出被检件,吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中,再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上,对检漏罐抽真空,实施检漏。若器件有漏,则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐,最终到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率。

4、辅助真空系统

对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件,若直接与检漏仪相连,氦质谱检漏仪的真空度可能抽不上去,使氦质谱检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统,提高对被检件的抽速。最简单的辅助真空系统只需一个机械泵和两个阀门,复杂的系统可由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散系或罗茨泵,前级系最好用气镇式机械泵。

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